R-23制冷劑,別名R23、氟利昂23、F23、F-23、HFC23、HFC-23、三氟甲烷。由于R-23屬于HFC類物質(zhì)(非ODS物質(zhì)Ozone-depleting Substances)——因此完全不破壞臭氧層,是當(dāng)前世界絕大多數(shù)國(guó)家認(rèn)可并推薦使用的環(huán)保制冷劑,也是目前主流的環(huán)保制冷劑,廣泛用于新冷凍設(shè)備(超低溫、深冷)上的初裝和維修過(guò)程中的再添加。
在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中,三氟甲烷用在二氧化硅及氮化硅的等離子蝕刻(plasma etching)中。三氟甲烷也是一種制冷劑,名稱為R-23或HFC-23,因?yàn)槠洳缓?,不?huì)造成臭氧層破洞,有時(shí)會(huì)用來(lái)會(huì)取代造成臭氧層破洞的三氟氯甲烷(cfc-13)。
三氟甲烷因?yàn)槠涞投拘?、不容易反?yīng)及高密度,可用作滅火劑使用。此時(shí)常使用杜邦的商標(biāo)名稱FE-13代表三氟甲烷。三氟甲烷過(guò)去曾用來(lái)取代氣體滅火系統(tǒng)中的海龍1301(cfc-13b1)。
中文名稱:三氟甲烷
中文別名:氟仿;氟里昂-23;HFC-23滅火劑
英文名稱:trifluoromethane
英文別名:Carbon trifluoride; fluoroform; freon 23; Halocarbon 23; R-23;
CAS號(hào):75-46-7
EINECS號(hào):200-872-4
規(guī)格:8kg/瓶,30kg/瓶
分子式:CHF3
分子量:70.0138
外觀與性狀:無(wú)色無(wú)臭氣體。